低温ポリSi TFT LCD技術

『LTPS TFT LCDの基礎から応用に
至る技術の全貌を把握できるレポート』

【鵜飼育弘氏からのコメント】

　低温ポリシリコン（LTPS）TFT LCDの基礎から応用に至る技術の全貌が把握できるように執筆した。基礎技術として、LTPS TFTのデバイス構造、プロセス、電気的特性、駆動方式等に関して詳述した。応用技術としては、高性能化、高品位化を実現するための要素技術を最近の学会発表のトピックスから紹介した。電子ペーパーへの応用が期待されているフレキシブル基板上への作製、コスト削減策としてのIn-Cell化技術も取り上げた。最後に市場動向とパネルメーカの課題に関して述べた。
　 この書籍は、TFT LCDの技術者のみならず、装置開発や材料・部品の開発に従事されている技術者、経営者、業界関係者など広範囲の方々に理解できるよう、分かりやすく記述した。

＜目次＞

　はじめに

　第1章　TFT駆動液晶ディスプレイの開発経緯
　　1.1　a-Si TFT LCD
　　1.2　LTPS TFT LCD

　第2章　LTPS TFT LCDのデバイス構造とプロセス
　　2.1　LTPS TFTのデバイス構造
　　2.2　プロセス・フロー

　第3章　LTPS TFTの電気的特性と駆動回路
　　3.1　LTPS TFTの電気的特性
　　3.2　信頼性
　　3.3　LTPS TFTによる駆動回路

　第4章　LTPS TFTアレイ製造の固有技術
　　4.1　エキシマ・レーザ・アニール（ELA）による結晶化技術
　　4.2　p-Siの直接堆積（as-depo p-Si）
　　4.3　イオン・ドーピング技術
　　4.4　高圧アニール技術

　第5章　高性能LTPS TFT
　　5.1　大粒径化技術
　　5.2　ゲート絶縁膜の改善と界面特性改善技術
　　5.3　微細化技術
　　5.4　低抵抗配線技術

　第6章　高品位TFT LCD技術
　　6.1　表示モード
　　6.2　広視野角技術
　　6.3　動画表示特性と動画応答時間
　　6.4　デバイス設計とシミュレーション技術

　第7章　システム・オン・パネル技術
　　7.1　PDAへの応用
　　7.2　モバイル・フォンへの応用
　　7.3　今後の展望

　第8章　フレキシブル基板を用いたLTPS
　　　　 TFT LCDと電子ペーパーへの応用
　　8.1　直接作製法
　　8.2　転写法
　　8.3　2色性色素添加高分子分散型液晶
　　8.4　展望

　第9章　In-Cell化技術
　　9.1　今なぜIn-Cell化技術が必要か
　　9.2　モジュール部材のIn-Cell化開発事例
　　9.3　In-Cell化偏光板
　　9.4　展望

　第10章　市場動向とディスプレイ・メーカの課題
　　10.1　市場動向
　　10.2　ディスプレイ・メーカの課題

　おわりに

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