昭和電工は、米Air Products and Chemicals社と共同で、半導体向けエッチング用ガスC4F6ガスの生産を開始すると発表した。生産設備は昭和電工川崎事業所に建設、09年上半期に完工する予定。C4F6ガスは通常のエッチング・ガスより微細加工性、選択制に優れており、65nmプロセスからそれ以降の微細加工で需要の拡大が見込まれているという。昭和電工は従来はロシアでC4F6の粗製品を生産し、川崎事業所で高純度化していた。今後は、ロシアと川崎の2拠点体制となるという。

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