ニコンの子会社ニコンエンジニアリングは、MEMS用縮小投影露光装置(ステッパ)「ミニステッパー NES1-h04」の受注を開始したと発表した。専有床面積は980mm×1330mmと世界最小レベル。投影レンズの仕様は、解像度2.0μm L & S、露光エリアは15mm角、NAは0.16。アライメント精度は0.3μm(3シグマ)。対応する試料のサイズは50mm径〜150mm径、処理能力は150mmウェーハで1時間60枚。オプションとしてウェーハ裏面のアライ面と・マークに合わせて露光する機構を搭載している。価格は標準仕様で1台9500万円から。

URL：http://www.nikon.co.jp/main/jpn/whatsnew/2009/0113_nes1-h04_02.htm